Микролитография

Одна из технологий производства полупроводников; для изготовления масок, из которых делаются микросхемы, используются либо оптический, либо электронный лучи, либо создаваемые лазером рентгеновские лучи. В этом процессе используются маски с вытравленными на них схемами, которые необходимо изготовить. Круглые кремниевые пластинки, которые затем разрезаются на 100 и больше кусочков (чипов), покрывают светочувствительным материалом, или резистом. После этого пластинки освещают видимым светом или рентгеновскими лучами через маску. Копия микросхемы, изображенная на маске, остается на кремнии, а все остальное смывается растворителем. Законченная микросхема представляет собой сэндвич из большого числа (до 20) слоев со схемами. См. Интегральные схемы (ИС).